四重極型質量分析計（高速測定／高感度測定）
質量数１ ～ 410 m/zまで測定が可能な高性能・高機能の四重極型質量分析計です。
M-401QA-MGSY/MUSYは、汎用型質量分析計として、10倍（当社比）の高速測定を実現しました。
コンポーネント
特長
- 高速測定対応（M-401QA-MGSY/MUSY）
M/e＝1 ～ 400 m/zを1秒間隔でデータ取得 - 2種類のイオン源
UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能 - 高感度（M-401QA-MGHY/MUHY）
8桁のダイナミックレンジ - 低ガス放出分析管
低ガス放出のイオン源を採用、デガス機能有り
用途
- 加速器真空ガスモニタ
- 無機ガス分析
- 熱天秤放出ガス分析
- 昇温脱離ガス分析
- 微量ガス分析
- PFCガス分析
仕様
| 機種名 |
高速型 | 高感度型 |
||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| M-401QA-MGSY | M-401QA-MUSY | M-401QA-MGHY | M-401QA-MUHY | |||
| 基本 性能 |
質量数 |
1～410 m/z | ||||
| 分解能 | M/ΔM≧2M | |||||
| 感度 （N2） |
SEM | 4.0×10-1 A/Pa | 4.0 A/Pa | 4.0×10-1 A/Pa | 4.0 A/Pa | |
| 最小検知分圧 | ≦5.0×10-12 Pa | ≦1.0×10-12 Pa | ||||
| 最大動作圧力 | 1.3×10-2 Pa以下 | |||||
| ダイナミックレンジ | 7桁 | 8桁 | 7桁 | |||
| （高速時） | 5桁 | － | － | |||
| 仕様 | イオン源形状 | ガス導入型（箱型） | UHV型（カゴ型） | ガス導入型（箱型） | UHV型（カゴ型） | |
| フィラメント種類 | イットリアコートイリジウム※1 | |||||
| ベーク温度 | 300 ℃（分析管のみ） | |||||
| デガス機能 | イオンソースヒータ | エレクトロンボンバード | イオンソースヒータ | エレクトロンボンバード | ||
| 掃引速度 | 1 mSec/amu～ | 10 mSec/amu～ | ||||
| 接続フランジ | φ114ICF | |||||
| 定格入力電圧 | AC100 V ～ AC240 V | |||||
| 最大消費電力 | 300 W | |||||
| 質量 |
分析管 | 5.1 Kg | ||||
| コントローラ | 6.2 Kg | |||||
| 通信インターフェイス | RS-485/USB | |||||
| 標準ソフト | QUADVISION | |||||
| 対応 | RoHS | |||||
※1）フィラメントの素材はオプションがございます。別途お問い合わせ下さい。