コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ
「コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ」はキヤノンアネルバの長年の多岐にわたるガス分析への対応実績によって培われたガス分析に関するノウハウを生かして、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。すでにマスフィルタを所有されている場合は、後付けのガス分析用排気ユニットとして、分析管の無い構成でもご注文いただけます。
コンポーネント
特長
- フレキシブルにカスタマイズが可能
基本構成（排気系＋マスフィルタ）を選択、さらに各種ご用途を想定し、あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、お客様のご用途に最適なシステム構成とすることが可能です。 - 省スペース
W480 mm×D500 mmの省スペースに設置が可能です。 - 簡単操作
シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、安心してご使用いただけます。
用途
研究開発用途ガス測定
- 炉内ガス分析、モニタリング
真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、
電子ビーム式溶解炉（EB炉）、ウエハ引上炉 など - 昇温脱離ガス分析
- 触媒反応ガス分析
プロセス装置用途ガス分析
- 真空装置のプロセスガス測定
- 真空装置の残留ガス測定／リーク検出
仕様
基本仕様
| 型名 | M-070GA-CRFY | M-101GA-CRFY | M-101GA-CRMY | M-201GA-CRMY |
|---|---|---|---|---|
| 四重極分析計 | M-070QA-TDF | M-101QA-TDF | M-101QA-TDM | M-201QA-TDM |
| 質量数範囲 | m/z=1～70 | m/z=1～100 | m/z=1～200 | |
| 検出感度 | 100 PPM | 10 PPM | ||
| 到達圧力 | 1×10-5 Pa以下 | |||
| ソフト機能 | QUADVISION2 Win7 | |||
| 電源 | AC100 V 1.0 KVA | |||
基本構成品一覧
| 排気系 （2種類） |
M-001GA-CR （RP仕様） |
M-001GA-CD （ドライポンプ仕様） |
|---|
| 四重極質量分析計 （7種類） |
M-070QA-TDF | M-101QA-TDF(Y) | M-101QA-TDM(Y) | M-201QA-TDF(Y) |
|---|---|---|---|---|
| M-101QA-TDF(W) | M-101QA-TDM(W) | M-201QA-TDF(W) |
組み合わせ例
| 測定用途 | 推奨オプション例 | 基本構成例 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 用途種類 | 詳細 | 圧力範囲 | 導入系 | その他 | 型名 |
| 残留ガス測定 ／プロセス測定 |
真空装置チャンバーの条件確認用（メンテナンス後の水分の残留、リーク確認など） | 10-4 ～ 10 Pa | ガス導入系1,2 | 高真空計 | M-070GA-CRFY |
| 高感度 プロセス測定 |
成膜装置等真空装置プロセスチャンバーへの微量不純物ガス混入 など | 10-5 ～ 1 Pa | ガス導入系3 | 高真空計 ヒーター |
M-101GA-CDMY |
| 昇温脱離ガス分析 | 試料加熱時の放出ガスの種類・量とその温度依存性の測定 など | 10-2 ～ 大気圧 | ガス導入系3,4 ガス導入系5,6 |
高真空計 ヒーター |
M-201GA-CRMY |
| 真空炉内ガス分析 | 加熱炉内の放出ガス種・量の温度依存性の研究、加熱プロセス中の不純物ガスモニタ など | 10-2 ～ 大気圧 | ガス導入系3,4 | 高真空計 ヒーター |
M101GA-CRMY |
| 大気圧炉内ガス分析 | 加熱炉内の放出ガス種・量の温度依存性の研究、加熱プロセス中の不純物ガスモニタ など | 0.05 MPa ～ 0.25 MPa | ガス導入系5,6 | 高真空計 ヒーター |
M-201GA-CRMY |
| 触媒反応ガス分析 | 触媒通過後のガスを分析し、触材料の有効性確認を行う など | 0.05 MPa ～ 0.25 MPa | ガス導入系5,6 | 高真空計 ヒーター |
M-201GA-CDMY |
カスタマイズすることによりいろいろな用途の測定に対応
外形寸法図
