超高真空ビューイングポート（真空部品）

真空容器内を外部より観察するためののぞき窓です。コバールガラスまたは合成サファイアとコバールを封着したものをICFフランジに溶接していますので、10-8 Pa以下の超高真空領域まで使用することが可能です。

コンポーネント

特長

  1. 広く鮮明な有効視野
    薄型ビューイングポートですので有効視野が広く、またガラス、サファイアにはほとんど歪みがないので鮮明に観察が可能
  2. 超高真空領域まで使用可能
    ICFフランジを用いていますので、超高真空領域まで使用可能
  3. 優れた加熱許容性
    350 ℃のヒートサイクルに対応

仕様

耐圧力 0.1 MPa（内部真空、外部大気圧）
許容加熱温度 350 ℃
温度変化 25 ℃/min以下
リーク量 1.3 × 10-11 Pa・m3/s以下

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