ライトプロセス用ルーツ型ドライポンプ MUシリーズ
世界最小サイズ、最小水準の省エネルギーを実現したライトプロセス用ルーツ型のドライポンプです。
コンポーネント
特長
- 小型･軽量化
フットプリント230 mm × 450 mm（0.1 m2）で、1660 L/minの排気能力を確保した、小型･軽量･高性能ポンプ - 省エネ化
・MU100N到達圧力時の消費電力：0.7 kW（従来機比Δ46 ％）
・冷却水量：2 L/min（従来機比Δ43 ％）
・窒素パージ消費量の低減クリーン用途では窒素パージ不要（Ar排気は窒素パージが必要）
用途
ライトプロセス用
- スパッタリング
- ロードロック
仕様
| 型番 | MU100N | MU300 | |
|---|---|---|---|
| 最大排気速度（L/min） | 1,660 | 5,000 | |
| 到達圧力注１）（Pa） | 1.5 | 0.5 | |
| 最大吸気口圧力 | 大気圧 | ||
| 最大排気口圧力 | 大気圧 | ||
| 吸気口フランジ | NW50 | ||
| 排気口フランジ | NW25 | ||
| 冷却水 | 最大供給圧力（MPa） | 0.5（ゲージ圧）IN-OUT差圧：0.2以上 | |
| 流量（L/min） | 2～3（温度：10～25 ℃） | ||
| 接続口径 | Rc1/4（セルフシールカプラ付） | Rc3/8（セルフシールカプラ付） | |
| 窒 素 | 供給圧力（MPa） | 0.1～0.7（ゲージ圧） | |
| 流量注２）（L/min） | 0または5 | 0～10 | |
| 接続口径 | 1/4"パイプ継手 | ||
| 電源電圧 | 三相 AC200～220V 50/60Hz | ||
| 電源容量（kVA） | 4.0 | 7.0 | |
| 消費電力注３）（kW） | 0.7 | 0.9 | |
| 使用環境温度範囲（℃） | 5～30 ℃ | ||
| 質量（kg） | 60 | 100 | |
| 外形寸法 L×W×H （mm） | 450×230×275 | 450×230×550 | |
注1）窒素パージなしの値を示します。
注3）窒素流量は用途によります。
注4）到達圧力時の値を示します。