ピラニゲージ（Niフィラメント） M-351PG（真空計）
Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。
コンポーネント
特長
- 耐蝕性の向上
Niフィラメント採用等 - 再現性がよく低価格
- 5×10-2 Paから大気圧
用途
- 半導体、電子デバイス製造装置
ドライエッチング装置、プラズマCVD装置、LD-CVD装置など - 食品・医薬品製造装置
真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など
仕様
| 型 名 | M-351PG-SP （Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ） |
|---|---|
| 測定圧力範囲 | 5×10-2 ～ 1×105 （Pa） |
| 精度（Pa） | ±50％：5×10-2 ～ 1×10-1 ±15％：1×10-1 ～ 1×104 ±50％：1×104 ～ 1×105 |
| 再現性 | ±2 ％ ： 1×10-1 ～ 1×104 Pa |
| 入力電圧 | DC+14 ～ 30 V |
| 消費電力 | 2 W |
| アナログ出力 | 0 ～ 10 V |
| ゲージ認識抵抗値 | 13 KΩ（D-sub5-9番ピン間） |
| セットポイント | 2接点出力（1 A 30 V,DC） |
| インターフェース | － |
| 入出力コネクタ | D‐sub9ピン |
| 最大ケーブル長 | 200 ｍ（0.34 mm2）対応可能＊1 |
| 使用温度範囲 | 5 ～ 60 ℃ |
| 保存温度範囲 | -20 ～ 70 ℃（非動作時） |
| ベーキング温度 | ＜＋150 ℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ） ＜＋300 ℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ） |
| 許容過負荷圧力 | 1 MPa（継手形状NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧） |
| 適合ピラニセンサ型名 | MP-2 |
| フランジ形状 | NW16、NW25、1/8NPT |
| センサー材質（主要部） | ピラニフィラメント：ニッケル センサーチューブ：ステンレス 導入端子絶縁部：コバールガラス＋Al2O3コート |
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 |
＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。
外形寸法図
