電離真空計 M-723HG、M-823HG、M-923HG（真空計）
多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた最も一般的なB-A型電離真空計シリーズです。
真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能やレンジホールド機能を標準で備えています。CC-Linkで通信制御を行えるタイプも用意してあります。
M-823HGで大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。
コンポーネント
特長
- 圧力レンジは自動切換
- 圧力及び種々のメッセージが液晶表示
- 豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
- セットポイントを2点標準装備
用途
- 自動化真空装置の圧力測定
- スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
- マルチチャンバシステムでの圧力測定
- 一般真空装置の圧力測定
仕様
| 型 名 | M-723HG | M-823HG | M-923HG |
|---|---|---|---|
| 測定球 | UGD-1S B-Aゲージ球 | BRG-1BワイドレンジB-Aゲージ球 | NIG-2F/NIG-2TF ヌードイオンゲージ球 |
| 圧力測定 レンジ（Pa） |
5レンジ自動切換 10-2、10-3、10-4、10-5、10-6 |
7レンジ自動切換 10-0、10-1、10-2、10-3、10-4、10-5、10-6 |
8レンジ自動切換 10-2、10-3、10-4、10-5、10-6、10-7、10-8、10-9 |
| 測定レンジ切換 | 自動切換え（レンジホールド可） | ||
| ガス出し | グリッド通電加熱方式 | 電子衝撃方式 | |
| フィラメント切換 | 前面パネルと外部制御入力により切換可（M823HGを除く） | ||
| フィラメント保護 | 圧力、イオン電流、エミッション電流の変動幅のいずれかに問題があると自動的にOFFする。 | ||
| アナログ出力 | D/A出力（仮数部D/A出力、指数部D/A出力、複合D/A出力） アナログ生出力（エレクトロメータ出力） |
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| I/Oリモート | INPUT | フィラメントON/OFF入力 デガスON/OFF入力 フィラメントインヒビット入力 レンジホールド1入力 レンジホールド2入力 フィラメント切換入力 ゲージ1/2切換入力（ゲージセレクタオプション使用時） |
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| OUTPUT | フィラメントON/OFF出力 デガスON/OFF出力 リモート/ローカル出力 セットポイント出力（2点） ゲージ1/2セレクト出力（ゲージセレクタオプション使用時） パワーON/OFF出力 フィラメント1/2出力 アラーム出力 |
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| セットポイント | 2セットポイント標準装備（オープンコレクタ） | ||
| 外形寸法（mm） | H99×W209×D330 | ||
| 所要電力 | AC100 V±10 ％2 A、50/60 Hz（AC115/200/230 Vにも対応可能） | ||
| 質量 | 5.4 kg（オプションボード未装着時） | ||
| 標準構成 | 真空計本体（測定球およびケーブルは構成品に含まれません） | ||
外形寸法図
