超高真空L型オールメタルバルブ（真空バルブ）
本バルブは10-8 Pa以下まで使用できる、全金属製の超高真空L型バルブです。400 ℃または450 ℃までベークアウトができ、ハードベークを伴う超高真空装置用バルブとして適しています。
コンポーネント
特長
- 超高真空領域用
10-8 Pa以下の超高真空領域まで使用できる全金属製バルブ - Capturingシール構造
弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を採用 - 優れた許容加熱性
400 ℃または450 ℃までのベークアウトが可能 - 容易なガスケット交換
仕様
超高真空L型オールメタルバルブ（型番：951-7148）
| 型名 | 951-7148 |
|---|---|
| 使用真空領域 | 大気圧 ～ 10-8 Pa以下 |
| リーク量 | 6.7×10-11 Pa・m3/s以下 |
| 全開時コンダクタンス | 4 L/s |
| 許容加熱温度 | 400 ℃ |
| 初期封止トルク | 約15.7 N・m |
| 最大封止トルク | 23.5 N・m |
| 主要部材質 | ボディ：SUS-304 ベローズ：SUS-304 弁封止用ガスケット：銅合金 ボンネットガスケット：SUS-321銀メッキメタル 中空“O”リング |
| 接続フランジ | φ34ICFフランジ |
| 質量 | 0.7 kg |
| 外形寸法 | 外形寸法図参照 |
| 適用トルクレンチ （オプション） |
460Ｆ（角ドライブ寸法□9.53 mm） （JIS B4650プレート形呼び450相当） |
| 添付品 | ガスケット取外し治具：1S ハンドル：1個 呼び2.5六角棒スパナ：1本 呼び4六角棒スパナ：1本 ワイヤブラシ：1個 予備ワッシャ：大、小各1個 計2個 予備ガスケット：1個 |
超高真空L型オールメタルバルブ（型番：951-7150／951-7152）
| 型名 | 951-7150 | 951-7152 |
|---|---|---|
| 使用真空領域 | 大気圧 ～ 10-8 Pa以下 | |
| リーク量 | 6.7×10-11 Pa・m3/s以下 | |
| 全開時コンダクタンス | 30 L/s | 100 L/s |
| ※許容加熱温度 | 450 ℃ | |
| 初期封止トルク | 29.4 ～ 34.3 N・m | 78.4 ～ 127.4 N・m |
| 最大封止トルク | 127.4 N・m | 225.4 N・m |
| 主要部材質 | ボディ：SUS-304 ベローズ：SUS-304 弁封止用ガスケット：銅合金 |
|
| 接続フランジ | φ70ICFフランジ | φ114ICFフランジ |
| 質量 | 1.6 kg | 7 kg |
| 外形寸法 | 外形寸法図参照 | |
| 適用トルクレンチ | 1300F（角ドライブ寸法□12.7 mm） （JIS B4650プレート形呼び1300相当） |
2800F（角ドライブ寸法□19.05 mm） （JIS B4650プレート形呼び2800相当） |
| 添付品 | ハンドル：1個 呼び2.5六角棒スパナ：1本 呼び6六角棒スパナ：1本 ワイヤブラシ：1個 予備ワッシャ：大、小各1個 計2個 予備ガスケット：1個 |
ハンドル：1個 呼び10六角棒スパナ：1本 BSボールポイントドライバ：1本 ワイヤブラシ：1個 予備ワッシャ：大、小各1個 計2個 予備ガスケット：1個 |
外形寸法図
超高真空L型オールメタルバルブ（型番：951-7148）
超高真空L型オールメタルバルブ（型番：951-7150）
超高真空L型オールメタルバルブ（型番：951-7152）
