Vシリーズ 粗引きバルブ V-025RV（真空バルブ）
本バルブは、10-4 Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム（バイトン）Oリングを使用したバルブです。高真空装置用バルブとして、また超高真空装置のあら引きバルブとして最適です。
コンポーネント
特長
- 高真空領域まで使用可能
10-4 Pa程度の高真空領域までご使用可能（軸シール部のみ、ふっ素グリースを使用） - 開閉ポジションセンサスイッチ
圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用のポジションセンサスイッチを装備
仕様
| 駆動方式 | 圧空 | 手動 | |
|---|---|---|---|
| 型名 | V-025RV-CN | V-025RV-MN | |
| 使用圧力領域 | 大気圧～10-4 Pa程度 | ||
| Heリーク 量※1 |
静止時 | 6.7×10-11 Pa･m3/s以下 | |
| 開閉時 | ～10-5 Pa･m3/s | ||
| コンダクタンス | 7 L/s | ||
| 許容加熱温度 | 60 ℃ | ||
| 主要部 材質 |
SUS-304 | ||
| 駆動部 | AL合金（エアーシリンダ） | ナイロン66,ポリプロピレン（ハンドル） | |
| 真空 シール材 |
ふっ素ゴム（バイトン）Oリング（メインシール部,軸シール部,ボンネットシール部） | ||
| 軸シール部潤滑剤：パーフロロポリエーテルグリース | |||
| 作動エアー圧 | 0.4 ～ 0.6 MPa | － | |
| エアー消費量 （L/サイクル）※2 |
0.024 | － | |
| エアー供給口 | M5 | － | |
| 開閉センサ | ■センサスイッチ仕様参照 | － | |
| 使用流体 | 大気またはガス（腐食性ガスを除く） | ||
| 外形寸法 | 外形寸法図参照 | ||
| 質量 | 0.63 kg | 0.58 kg | |
| 接続フランジ※3 | NW25フランジ | ||
※1. ふっ素ゴム（バイトン）Oリングのガス透過は仕様外。
※2. エアー圧0.5MPa時1サイクル（開閉）でのエアー消費量です。
※3. NW25フランジはエラストマーガスケット（主にふっ素ゴム）を使用する真空装置用クランプフランジです。詳細については弊社Vacuum Components配管部品カタログのクイックカップリングをご参照下さい。
外形寸法図
