超高真空バリアブルリークバルブ（真空バルブ）
本バリアブルリークバルブは、導入ガス流量の調節を必要とする真空装置に使用するもので、調節可能最少リーク量が6.7×10-9 Pa・m3/s以下ときわめて微少流量領域からのガス導入が可能です。
また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、超高真空装置用に適しています。
コンポーネント
特長
- 熱と外部衝撃に強いシール部
シール部はWC系超硬合金と銅合金を組み合わせてシールしておりますのでサファイアと銅合金を組み合わせてシールするのと異なり、熱的・機械的影響から生じる割れはありません - 微少ガス流量を安定調節
調節可能最少リーク量が6.7×10-9 Pa・m3/s以下（Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2 MPa時）と、きわめて微少ガス流量の導入が可能 - 優れた許容加熱性
全金属製で450 ℃までのベーキングが可能 - 広範囲ガス流量の調節が可能
- 超高真空接続可能
用途
- 導入ガス流量の調節を必要とする真空装置
- スパッタ装置、ガス分析装置
- 物理学実験・研究用装置等
仕様
| 使用真空領域 | 大気圧～10-8 Pa程度 | |
|---|---|---|
| 調節可能最少リーク量※1 | 6.7×10-9 Pa・m3/s以下 | |
| バルブ全閉時リーク量 | 6.7×10-11 Pa・m3/s以下 | |
| 許容加熱温度※2 | 450 ℃（開閉いずれも可） | |
| ガスケットの寿命 | 約300回シール（室温使用時） 約30回シール（ベーキングを伴う場合） （ガスケット交換可能） |
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| 構成部品材料 | 本体：SUS-304 シール部：WC系超硬合金 ガスケット：Cu合金 |
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| 接続フランジ | ガスOUTLET側 | φ70ICF固定フランジ |
| ガスINLET側 | φ8×φ6SUS-304管（951-7170） φ34ICF固定フランジ付（951-7172） |
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| 添付品 | 951-9160ガスケット2個 951-9160リング2個 951-9160スパナ1本 呼び5六角棒スパナ1本 呼び8六角棒スパナ1本 |
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| 質量 | 1.3 kg | |
※1. 圧力0.2 MPaのHeガスをガス導入側に接続しφ70ICF側を真空に排気している状態での値です。
※2. ガス導入側およびφ70ICF側を真空またはArガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です。
外形寸法図
