インレットバルブ（真空バルブ）
インレットバルブ
951-7179 インレットバルブ（接続フランジ：Φ70ICF）／
951-7180 インレットバルブ（接続フランジ：NW25）
真空装置内に特定ガスを導入するためのリークバルブで、軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、真空シールはふっ素ゴム（バイトン）を使用しています。
高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして適しています。
コンポーネント
特長
- 超高真空領域用
10-7 Pa程度の超高真空領域まで使用可能 - 大気混入なし
軸シールにベローズを使用していますので、ガス導入時大気の混入する心配がありません - 優れた許容加熱性
150 ℃までのベークアウトが可能
仕様
| 型名 | 951-7179、951-7180 |
|---|---|
| 使用真空領域 | 大気圧 ～ 10-7 Pa程度 |
| バルブ全閉時リーク量 | 6.7×10-11 Pa・m3/s以下※1 |
| オリフィス径 | φ8.5 mm |
| 許容加熱温度※2 | バルブ開時150 ℃、バルブ閉時125 ℃ |
| 主要部材質 | 真空シール材：ふっ素ゴム（バイトン）※3 バルブボディ：SUS304 ベローズ：SUS304 Lハンドル：フェノール樹脂 接続フランジφ70ICF、NW25フランジ |
| 接続フランジ | φ70ICF、NW25フランジ |
| 質量 | 0.5 kg |
| 外形寸法 | 外形寸法図参照 |
※1. ふっ素ゴム（バイトン）のガス透過は仕様外。
※2. ベーキングはハンドルを取り外してから行ってください。
※3. メインシールおよびボンネットシール部。
外形寸法図
