|
|
|
|
|
府中工場
|
|
|
|
|
|
|
|
|
- 富士工場 開設
- 日電アネルバエンジニアリング（株） 設立
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
- ISO-9001認証取得
- 日電アネルバエンジニアリング（株）を合併
- 社名を「アネルバ（株）」に変更
|
|
|
- 事業部制の変更
- FPD（事）、MMD（事）、開発研究所、次世代商品開発本部創設
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
- 社名を変更
- キヤノンアネルバ（株）（旧アネルバ（株））
- キヤノンアネルバエンジニアリング（株）（旧アネルバテクノビジネス（株））
- キヤノンアネルバテクニクス（株）（旧アネルバテクニクス（株））
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
- キヤノンアネルバエンジニアリング（株）、キヤノンアネルバテクニクス（株）を合併
|
|
|
M-342シリーズ
|
|
|
- NC7900 STT-MRAM量産向けMTJ多層成膜用スパッタリング装置を発売
NC7900
|
|
|
- NC7900 STT-MRAM量産向けスパッタリング装置が「半導体オブザイヤー2014」を受賞
半導体オブザイヤー2014
|
|
|
- 隔膜式真空計M-342シリーズに半導体成膜装置向けを追加発売
|
|
|
- プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』を発売
M-080QA-HPM
|
|
|
G-311MH
|
|
|
|
